Детальная информация

Функциональность другие
-------------------
часы наработки
часы включения
состояние в хорошем состоянии
Маркировка CE ---------
статус

описание

Производитель: Airco
СИСТЕМА НАПЫЛЕНИЯ AIRCO TEMESCAL HRS 2550
3 ТАРГЕТА
АВТОМАТИЧЕСКОЕ/РУЧНОЕ РЕГУЛИРОВАНИЕ
МЕХАНИЧЕСКИЙ НАСОС С ПРЯМЫМ ПРИВОДОМ
ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС
МОЖЕТ БЫТЬ ДОПОЛНЕНА ВРАЩАЮЩИМСЯ ПРИСПОСОБЛЕНИЕМ ДЛЯ РАЗМЕЩЕНИЯ (4) 8-ДЮЙМОВЫХ ПЛАСТИН

Airco Temescal HRS 2550 - это система напыления. Имеет 3 мишени, автоматическую/ручную регулировку клапанов, механический насос с прямым приводом и диффузионный насос. Также имеется источник питания r/f. Возможна модернизация до восстановленной головки CTI-10 Cryopump с компрессором.
Технические данные
Размеры: 16 дюймов в высоту х 25,5 дюймов
диаметр (406 мм x 647,7 мм)
Крепление: карусельные вертикально установленные держатели подложек, опциональная возможность перевертывания
Вместимость: (минимум) 64 2-дюймовых (51 мм) подложки
Экранирование: минимум 3 балла
Нагрев подложки: максимум 3 кВт
Количество катодов: максимум три Аргоновый впускной сильфонный герметичный ручной клапан с возможностью дозирования

Вакуумный отсек (включая корпус электроники): 82,5 дюйма в высоту (с корпусом
высота 82,5 дюйма (с верхней консолью шкафа) x 64 дюйма в ширину x 40 дюймов в глубину (2100 мм x 1625 мм x 1025 мм)
Блок питания (включая пульты управления):
36 дюймов в высоту x 25,5 дюймов в ширину x 25,5 дюймов в глубину (915 мм м x 650 мм x 650 мм)
Типичная скорость статического осаждения: 15,000
А/мин алюминия, 20 000 А/мин меди
Распределение: � 5% с маскировкой источника
Размер мишени: 8,25 дюйма x 3,56 дюйма (210 мм x 90 мм)
Рабочее напряжение: потенциал катода от -400 до -800 В постоянного тока (пиковые скорости осаждения при
от -400 до -500 В постоянного тока)
Максимальная рабочая мощность: 5 кВт. 0,2 - 7A
Рабочее давление: от 1 x 10-2 до 1 x 10-3 торр
Охлаждающая вода: (0,5 г/мин при 20 °C) на источник

Выход: 5 кВт, регулируемый ток от 0,2А
до 7А; напряжение от 50В постоянного тока до 800В постоянного тока;
в зависимости от давления
Рабочий цикл: 100%
Измерение: выходной ток, от 0 до 1A, и от 0 до
10А, шкала постоянного тока; напряжение катод-земля,
от 0 до 1,5 кВ постоянного тока; напряжение анод-земля,
от 0 до 150 В постоянного тока
Блокировки: электропитания, дверей шкафа, воды, крышки камеры и давления в камере
Требуемое обслуживание: 208/230 В переменного тока, 25 А, 50/60 Гц, 3 фазы

Предельный вакуум: диапазон 10-8 торр
Диффузионный насос: 5300 л/с, высота 10 дюймов x 16 дюймов i.d.
Механический насос: 35 см3 (1000 л/с, двухступенчатый).
Холодная ловушка: емкость 4,5 литра; площадь поверхности 2600 квадратных дюймов (1,67 м2)
Клапан высокого вакуума: 16 дюймов (406 мм) i.d., с сильфонным уплотнением
Перепускной клапан высокого вакуума: 3 дюйма (75 мм) i.d., переменная проводимость
Клапан голодания и клапан черновой обработки: 2-дюймовый (51 мм) i.d.
Привод клапана: электропневматический (все вакуумные клапаны)
Последовательность работы клапанов: ручная и автоматическая

Данное описание может быть переведено автоматически. Свяжитесь с нами для получения дополнительной информации. Информация в данном объявлении носит ориентировочный характер. Мы рекомендуем перед покупкой станка уточнять детали у продавца.


Тип клиента дилер
Активный с 2014
Предложения онлайн 51
Последняя активность 9 июля 2025 г.

описание

Производитель: Airco
СИСТЕМА НАПЫЛЕНИЯ AIRCO TEMESCAL HRS 2550
3 ТАРГЕТА
АВТОМАТИЧЕСКОЕ/РУЧНОЕ РЕГУЛИРОВАНИЕ
МЕХАНИЧЕСКИЙ НАСОС С ПРЯМЫМ ПРИВОДОМ
ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС
МОЖЕТ БЫТЬ ДОПОЛНЕНА ВРАЩАЮЩИМСЯ ПРИСПОСОБЛЕНИЕМ ДЛЯ РАЗМЕЩЕНИЯ (4) 8-ДЮЙМОВЫХ ПЛАСТИН

Airco Temescal HRS 2550 - это система напыления. Имеет 3 мишени, автоматическую/ручную регулировку клапанов, механический насос с прямым приводом и диффузионный насос. Также имеется источник питания r/f. Возможна модернизация до восстановленной головки CTI-10 Cryopump с компрессором.
Технические данные
Размеры: 16 дюймов в высоту х 25,5 дюймов
диаметр (406 мм x 647,7 мм)
Крепление: карусельные вертикально установленные держатели подложек, опциональная возможность перевертывания
Вместимость: (минимум) 64 2-дюймовых (51 мм) подложки
Экранирование: минимум 3 балла
Нагрев подложки: максимум 3 кВт
Количество катодов: максимум три Аргоновый впускной сильфонный герметичный ручной клапан с возможностью дозирования

Вакуумный отсек (включая корпус электроники): 82,5 дюйма в высоту (с корпусом
высота 82,5 дюйма (с верхней консолью шкафа) x 64 дюйма в ширину x 40 дюймов в глубину (2100 мм x 1625 мм x 1025 мм)
Блок питания (включая пульты управления):
36 дюймов в высоту x 25,5 дюймов в ширину x 25,5 дюймов в глубину (915 мм м x 650 мм x 650 мм)
Типичная скорость статического осаждения: 15,000
А/мин алюминия, 20 000 А/мин меди
Распределение: � 5% с маскировкой источника
Размер мишени: 8,25 дюйма x 3,56 дюйма (210 мм x 90 мм)
Рабочее напряжение: потенциал катода от -400 до -800 В постоянного тока (пиковые скорости осаждения при
от -400 до -500 В постоянного тока)
Максимальная рабочая мощность: 5 кВт. 0,2 - 7A
Рабочее давление: от 1 x 10-2 до 1 x 10-3 торр
Охлаждающая вода: (0,5 г/мин при 20 °C) на источник

Выход: 5 кВт, регулируемый ток от 0,2А
до 7А; напряжение от 50В постоянного тока до 800В постоянного тока;
в зависимости от давления
Рабочий цикл: 100%
Измерение: выходной ток, от 0 до 1A, и от 0 до
10А, шкала постоянного тока; напряжение катод-земля,
от 0 до 1,5 кВ постоянного тока; напряжение анод-земля,
от 0 до 150 В постоянного тока
Блокировки: электропитания, дверей шкафа, воды, крышки камеры и давления в камере
Требуемое обслуживание: 208/230 В переменного тока, 25 А, 50/60 Гц, 3 фазы

Предельный вакуум: диапазон 10-8 торр
Диффузионный насос: 5300 л/с, высота 10 дюймов x 16 дюймов i.d.
Механический насос: 35 см3 (1000 л/с, двухступенчатый).
Холодная ловушка: емкость 4,5 литра; площадь поверхности 2600 квадратных дюймов (1,67 м2)
Клапан высокого вакуума: 16 дюймов (406 мм) i.d., с сильфонным уплотнением
Перепускной клапан высокого вакуума: 3 дюйма (75 мм) i.d., переменная проводимость
Клапан голодания и клапан черновой обработки: 2-дюймовый (51 мм) i.d.
Привод клапана: электропневматический (все вакуумные клапаны)
Последовательность работы клапанов: ручная и автоматическая

Данное описание может быть переведено автоматически. Свяжитесь с нами для получения дополнительной информации. Информация в данном объявлении носит ориентировочный характер. Мы рекомендуем перед покупкой станка уточнять детали у продавца.


Детальная информация

Функциональность другие
-------------------
часы наработки
часы включения
состояние в хорошем состоянии
Маркировка CE ---------
статус

Об этом продавце

Тип клиента дилер
Активный с 2014
Предложения онлайн 51
Последняя активность 9 июля 2025 г.

Вот выбор подобных станков

Система напыления Airco Temescal Hrs 2550